周一 ~ 周五 9:00-17:00
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1. 保持常溫:氮?dú)夤駪?yīng)該保持在常溫下,*得出現(xiàn)明顯的溫度波動(dòng)。
2. 低濕度:晶圓保存需要保持低濕度,氮?dú)夤駪?yīng)該保持較低的濕度,一般應(yīng)該低于10%。
3. 恒定氮?dú)饬髁浚涸诒4婢A的過程中,必須保持恒定的氮?dú)饬髁?,以保持氣氛穩(wěn)定。
4. 防塵:氮?dú)夤癖4婢A時(shí)應(yīng)保持室內(nèi)清潔,避免灰塵、污染等造成晶圓表面的損傷。
5. 避免震動(dòng)和沖擊:晶圓保存需要避免震動(dòng)和沖擊,防止晶圓表面微結(jié)構(gòu)的變化。
6. 避免其他氣體混入:在使用氮?dú)夤癖4婢A時(shí),應(yīng)避免其他氣體的混入,以保證氣氛的純凈度。
7. 定期清潔和維護(hù):氮?dú)夤癖4婢A時(shí),應(yīng)定期清潔和維護(hù)設(shè)備,保證氣氛純凈度和設(shè)備的正常運(yùn)行。